VFT光纤过真空装置可以将光导入或导出真空室,以实现超高真空的应用场合,例如半导体处理的光学监测和薄膜吸附的最终检测。采用VFT光纤过真空装置可以检测真空环境下,样品的透射/吸收,以及荧光反射等光学反应!
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在隔空箱和高压应用场合下有较好的表现,真空度高达﹡大10 -7 mbar ,操作温度高达300℃,真空室壁厚5-40 mm,玻璃或金属封口光纤使性能表现提高,VFT光纤过真空装置使用牢固的金属-玻璃封口胶,使VFT在超高真空应用场合的表现得到提高。
VFT光纤过真空装置除了在半导体和薄膜处理方面的应用,还是环境检测、药﹡学处理和光学涂层生产的理想工具。它还可以应用在分子束外延和化学物理的蒸汽吸附方面,可以作为配合隔空箱、手套箱和中压装置的性能优异的通管。
VFT光纤过真空装置的高压与低压面的终端可与SMA905连接器相连接,可以简单地与光纤、光源、配件共同使用,以及本公司的光谱仪等光学设备。
VFT光纤过真空装置可以旋入真空样品室上的一个M12外螺纹的孔,或可以用预备好的螺帽和垫圈旋入一个光滑的孔。装配过程非常简单,只需通过一个SMA905光纤适配器把光纤和VFT通管连接起来即可。在样品室的低压面,我们建议用户选配金属硬壳的石英光纤配套。
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VFT光纤过真空装置的光纤直径有50μm、100μm、200μm、400μm、600μm和1000 μm可选;波长可选UV200~1100nm和IR400~2500nm,可选配SMA905或者FC接头。
订购选型
型号 | 说明 |
VFT-100-VIS | 直径100 μm的可见光-近红外石英光纤(300-1100nm) |
VFT-100-IR | 直径100 μm的可见光-近红外石英光纤(400-2500nm) |
VFT-200-UV | 直径200 μm的紫外石英光纤(200-1100nm) |
VFT-200-IR | 直径200 μm的可见光-近红外石英光纤(400-2500nm) |
VFT-400-UV | 直径400 μm的紫外石英光纤(200-1100nm) |
VFT-400-IR | 直径400 μm的可见光-近红外石英光纤(400-2500nm) |
VFT-600-UV | 直径600 μm的紫外石英光纤(200-1100nm) |
VFT-600-IR | 直径600 μm的可见光-近红外石英光纤(400-2500nm) |
VFT-1000-UV | 直径1000 μm的紫外石英光纤(200-1100nm) |
VFT-1000-IR | 直径1000 μm的可见光-近红外石英光纤(400-2500nm) |
选件 | |
使用温度范围 | -30°~+120°(HT高温可达到300°) |
SMA适配器 | SMA905适配器,每个过真空装置需要配2只 |
选配配件
VFT光纤过真空装置可以定制配套的真空法兰盘,如KF16、KF25、KF40等。