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探针台应用技术

更新时间:2023-01-29 点击量:1250

探针台应用技术

三维磁场探针台选型注意事项:

※大需要测几inch的晶圆或者器件!是否需要测试破片或者单颗芯片!小的单颗芯片尺寸!

※探针台机械精度要求多高!

※点测样品的电极尺寸!100μm *100μm或60μm *60μm的pad,还是FIB制作的mini pad,或者ic内部的metal线路!

※多需要几个探针同时去点测!

※是否会用到探针卡测试!

※光学显微镜的小分辨率需要用到多少!

※显微镜方面,是否需要添加偏光片做LC液晶热点侦测!

※探针点测时,对电流的要求是否达到100fa或者以下!低

电容要求是否要做到0.1pf!是否有射频需求!

※接驳的测试仪器接口有哪些!

※测试环境时是否会需要加热或者降温! 是否需要密闭腔体!

※对chuck的漏电要求怎样!是否需要添加低阻抗chuck!

※是否需要防震桌!

※若添置防震桌,是否有压缩空气!

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