选型注意事项:
※大需要测几inch的晶圆或者器件!是否需要测试破片或者单颗芯片!小的单颗芯片尺寸!
※探针台机械精度要求多高!
※点测样品的电极尺寸!100μm *100μm或60μm *60μm的pad,还是FIB制作的mini pad,或者ic内部的metal线路!
※多需要几个探针同时去点测!
※是否会用到探针卡测试!
※光学显微镜的小分辨率需要用到多少!
※显微镜方面,是否需要添加偏光片做LC液晶热点侦测!
※探针点测时,对电流的要求是否达到100fa或者以下!低
电容要求是否要做到0.1pf!是否有射频需求!
※接驳的测试仪器接口有哪些!
※测试环境时是否会需要加热或者降温! 是否需要密闭腔体!
※对chuck的漏电要求怎样!是否需要添加低阻抗chuck!
※是否需要防震桌!
※若添置防震桌,是否有压缩空气!